产品介绍
氧化铝（Al2O3）是精密陶瓷中常用的材料。我司供应纯度为99.5%和99.9%的产品。
半导体制造设备部品（腔体部件、绝缘法兰盘、蚀刻设备部件、晶圆夹盘）；粉碎机部件（分级机、气流式粉碎机、珠磨机）；一般产业用部件（激光加工机喷嘴、转轴、轴承）；高精度用，精密用，耐热用冶工具（定位治具、装配夹具）；耐磨耗部件（拉丝机导向辊、钢丝通道、导轨）；电绝缘部件（绝缘子、垫片、衬套）。
○ 氧化铝是白色或乳白色的陶瓷，利用其优异的电绝缘性能，早期开始即应用在电子部品上，使用量较多，是精密陶瓷中成本低的材质。
○ 我司供应纯度为99.5%和99.9%的高纯度产品。高纯度类型氧化铝的机械强度高、耐腐蚀性优异，可生产大型产品。
○ 此外，由于其具有优异的耐等离子特性，也可用于ＣＶＤ设备或蚀刻设备的部件。
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型号 |
特点 |
密度 |
杨氏弹性模量 |
弯曲强度 |
断裂韧性 |
热膨胀系数 |
热传导率 |
体积电阻 |
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[g/cm3] |
[GPa] |
[MPa] |
[MPa?m1/2] |
[×10-6/K] |
[W/m?K] |
[Ω?cm] |
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氧化铝99.5% |
用途广泛高刚性 |
3.9 |
370 |
440 |
3～4 |
6.3 |
33 |
＞1014 |
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氧化铝99.9% |
高纯度高刚性 |
3.9 |
370 |
450 |
3～4 |
6.3 |
30 |
＞1014 |
136-9226-4978